Bir kaynaktan transfer edilen malzemenin kimyasal kompozisyonunun kontrol altına alınarak bir altlık üzerine biriktirilmesidir.
Buhar Biriktirme nedir?
Kaynaklar
Prof. Dr. Hatem Akbulut’un "Nano Kaplama Teknikleri" (30 Ekim 2006 Pazartesi) sunumundan derlenmiştir.