Bu yöntemde malzeme termal bir ısı kaynağı ile buhar haline getirilmektedir ve buharlaştırmanın yapıldığışekle göre bu yöntem gruplara ayrılmaktadır:
• Rezistans ısıtıcı ve indüksiyon akımı ile buharlaştırma
• Elektron bombardımanı ile buharlaştırma
• Katodik ark yöntemi