• Bu yöntemde bir elektron kaynağı tarafından sağlanan elektronlar ile malzeme bombardımana tutularak buharlaşma sağlanmaktadır.
• Elektronların odaklanması kolaylıkla yapılabilmektedir. Bu nedenle yüksek güç yük yoğunlukları elde edilerek yüksek ergime sıcaklıklarına (>3500 oC) sahip malzemeler bile kolaylıkla buharlaştırılabilmektedir.
• Elektronların da yönlendirmeleri kolay olduğundan yüzeyde tarama yaparak homojen buharlaştırma yapmak mümkün olmaktadır.
• Elektron tabancasında ince ve yüksek sıcaklıklara dayanıklı bir filaman tel üzerinden akım geçirilerek telin ısınması ve elektron yayması sağlanmaktadır.
• Elde edilen elektronlar bir manyetik alan yardımı ile hızlandırılarak yönlendirilmektedir. Buharın tabanca üzerinde birikmesini ve tabancanın buhar bulutunu gölgelemesini engellemek için yönlendirme genellikle 90o, 180o veya 270o’lik açılarla yapılmaktadır.
• Hızlandırma potansiyeli 6-10 kV mertebelerinde olan bu tip tabancalarda yalıtkan malzemeler de kolaylıkla buharlaştırılmaktadır.