• Faraday'ın 1857 yılında bir metal teli vakum altında buharlaştırarak yaptığı kaplama bu yöntemin ilk uygulaması olarak kabul edilmektedir.
• 1888 yılında ise Kundt bu yöntem ile üretilmiş ince filmlerin optik özelliklerini incelemiştir.
• II. Dünya savaşından sonra PVD (FBB) yöntemi kesici takımlar için kullanılmaya başlanmıştır.
• 1970'li yıllardan sonra vakum ve elektrik-elektronik teknolojilerindeki gelişmelere paralel olarak FBB yöntemi endüstriyel uygulamalarda yerini hızla almıştır.