Triyot sıçratma

Bu sıçratma tekniğinde ise diyot sıçratma sisteminden farklı olarak anot ve katot arasına elektron yayan bir flaman ve elektron toplayıcı eklenmiştir. Böylelikle plazmanın iyon akım yoğunluğu artırılmaktadır

Kaynaklar

Yrd. Doç. Dr. Atilla Evcin’in "2006 yılı Kaplama Teknikleri Ders Notları"ndan derlenmiştir.

Paylaş